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型號(hào):
真空鍍膜機(jī)英??嫡袷幤鲉卧浔∧た刂苾x

描述:真空鍍膜機(jī)英??嫡袷幤鲉卧浔∧た刂苾xIC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎(chǔ)上,增添了更多的功能

,可幫助您實(shí)現(xiàn)沉積過程的大價(jià)值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測(cè)量系統(tǒng),提供穩(wěn)定、高分辨

率的速率和厚度測(cè)量,速率分辨率可達(dá)每 1/10 秒 0.00433 Å/s,是行業(yè)中的優(yōu)秀者。

他石英晶體控制器的性能、品質(zhì)和功能,賦予

  • 廠商性質(zhì)

    經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間

    2024-07-04
  • 訪問量

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真空鍍膜機(jī)英福康振蕩器單元配薄膜控制儀


IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎(chǔ)上,增添了更多的功能


,可幫助您實(shí)現(xiàn)沉積過程的大價(jià)值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測(cè)量系統(tǒng),提供穩(wěn)定、高分辨


率的速率和厚度測(cè)量,速率分辨率可達(dá)每 1/10 秒 0.00433 ?/s,是行業(yè)中的。IC6 具有其


他石英晶體控制器比擬的性能、品質(zhì)和功能,賦予您的過程的可重復(fù)性。


功能

INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得高、穩(wěn)定的速率和厚度測(cè)量分辨率,即使在速率低的情況下

Auto Z 技術(shù)通過自動(dòng)測(cè)定沉積材料的 Z 比值,可提高厚度測(cè)量的精度

支持zui多六個(gè)來源同時(shí)共鍍膜

彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進(jìn)展?fàn)顩r

100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz

USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄

強(qiáng)大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡(jiǎn)單或復(fù)雜的系統(tǒng)(使用可擴(kuò)展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器,


14 TTL 輸出),并充分利用邏輯功能(100 個(gè)邏輯語(yǔ)句)

6 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控

可容納多 50 個(gè)過程,每個(gè)過程 200 層,這些過程關(guān)聯(lián)到一起,總共可容納 10,000 層。

多路傳感器可平均分配為 8 個(gè)傳感器

4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長(zhǎng)的真空傳感器電纜

可選以太網(wǎng)通信

符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

光學(xué)鍍膜

真空鍍膜機(jī)英??嫡袷幤鲉卧浔∧た刂苾x


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